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　　院士：尤政

　　亮點：在國內率先開展微納技術及其空間應用研究，率先開展微衛星技術創新與工程實踐

　　2017年9月，尤政院士工作站揭牌成立。尤政院士工作站是由山東省科技廳與淄博高新區MEMS研究院聯合共建，旨在發揮中國工程院院士尤政及其團隊在國內外MEMS領域的領軍作用，凝聚高端智力，推動淄博高新區、淄博市的MEMS和集成電路產業跨越式發展。

　　尤政院士是我國機械電子工程專家，在國內率先開展微納技術及其空間應用研究，率先開展微衛星技術創新與工程實踐。尤政院士工作站建站以來，助力淄博高新區企業不斷開展技術創新和產品研發，推動高新區產業升級轉型。

　　在人才聚集效應方面，該院士工作站吸引了大量高層次人才入駐，形成了一支以尤政院士為核心、由清華大學研究員周斌、北京大學教授楊振川、北京科技大學教授滕蛟等30余名國內外知名專家組成的科研團隊。

　　在科研成果方面，該院士工作站開發了180余項核心工藝和3種成套體硅加工標準工藝;自研出MEMS繼電器、壓阻式壓力計、高溫惡劣環境用溫度傳感器等;開發基于SOG工藝器件(MEMS陀螺儀、MEMS加速度、MEMS繼電器等)用的圓片級封裝技術和MEMS先進集成三維異質異構集成技術，在國內外發表高水平文章27篇，獲得國家授權發明專利21項。

　　在產學研結合方面，該院士工作站舉辦首屆中國(淄博)MEMS產業戰略高峰論壇，淄博高新區MEMS研究院硅微機械陀螺、加速度計、繼電器等產品下線，同時，舉行了新型MEMS繼電器研制項目等10個合作項目的簽約儀式;鏈接清華大學、北京大學、北京科技大學、中國科學院等高校和研究機構，先后成立新材料與工藝中心、仿真與設計中心、集成測試中心，為拉動區域人才聚集和促進當地新舊動能轉換提供新引擎。