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近日，江陰高新區企業江蘇首芯半導體科技有限公司的首臺PECVD Amorphous Carbon半導體薄膜沉積設備完成調試，該設備可對應90/65納米以下制程的Carbon薄膜工藝。

Carbon薄膜沉積設備項目于6月11日立項，9月初實現RF power on，10月9日完成設備馬拉松測試及DOE數據整理分析。企業研發團隊匯整了DOE相關數據，設備性能可以匹配國內外其他廠商的同類型設備的工藝規格，該設備僅用時4個月完成Carbon薄膜設備的工藝開發和應用，達成了項目階段性目標，可針對客戶需求進行工藝優化及提供建議，加快客戶的研發和量產進程。

江蘇首芯半導體科技有限公司成立于2023年，主營業務為半導體先進制程設備的研發、生產、銷售與技術服務。項目占地面積25畝，建筑面積2.5萬平方米。目前項目主體廠房封頂，設備安裝調試中，計劃11月正式投產。項目完成后，可形成年產50臺套半導體薄膜沉積設備的生產能力，預計實現年銷售收入超6億元，上繳稅金超1500萬元。

下一步，江陰高新區將始終堅持“項目為王”的理念，把“為重點項目提供全方位、全過程、全生命周期的優質服務”作為工作的出發點和落腳點，精準聚焦重大項目推進中的困難和問題，靠前服務、快速響應、迅速落實，全力推動重點項目早開工、快投產、速達效。

（圖片來源：江陰高新區）